氬氧等離子清洗機(jī)原理

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2025-04-09

氬氧等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體技術(shù)對(duì)物體表面進(jìn)行處理的設(shè)備，其原理主要涉及等離子體的產(chǎn)生以及等離子體與物體表面的相互作用，具體如下：

等離子體的產(chǎn)生：在等離子清洗機(jī)中，通常通過(guò)射頻（RF）、微波等電源將氬氣（Ar）和氧氣（O?）等氣體激發(fā)成等離子體。以射頻電源為例，當(dāng)射頻電場(chǎng)施加到氣體放電區(qū)域時(shí)，電場(chǎng)會(huì)加速氣體中的自由電子，使其獲得足夠的能量與氣體分子發(fā)生碰撞。在碰撞過(guò)程中，氣體分子被電離，產(chǎn)生大量的離子、電子和激發(fā)態(tài)原子等，從而形成等離子體。

等離子體與物體表面的相互作用

物理作用：氬離子（Ar?）在電場(chǎng)作用下會(huì)加速向物體表面運(yùn)動(dòng)，具有一定能量的氬離子撞擊物體表面時(shí)，會(huì)將表面的污染物如灰塵、油脂等物理性地轟擊下來(lái)，這種作用類似于 “微噴砂” 效果，能夠去除物體表面的雜質(zhì)，同時(shí)還可以對(duì)表面進(jìn)行粗化處理，增加表面的粗糙度，提高表面的附著力。

化學(xué)作用：氧氣等離子體中的氧原子（O）、氧離子（O?）和臭氧（O?）等具有很強(qiáng)的氧化性，它們會(huì)與物體表面的有機(jī)污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，將其轉(zhuǎn)化為二氧化碳（CO?）、水（H?O）等易揮發(fā)的物質(zhì)，然后被真空泵抽走，從而達(dá)到清洗的目的。此外，對(duì)于一些高分子材料表面，氧等離子體還可以引入羥基（-OH）、羧基（-COOH）等極性基團(tuán)，提高材料表面的親水性和化學(xué)活性。

通過(guò)氬氧等離子體的物理和化學(xué)協(xié)同作用，氬氧等離子清洗機(jī)能夠高效、徹底地清洗物體表面，并且可以在不損傷物體基體的情況下，改善物體表面的性能，廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、航空航天等多個(gè)領(lǐng)域。